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国产高端光刻胶量产!



据报道,国产半导体材料供应商晶瑞电材表示,公司KrF高端光刻胶部分品种已量产!



据晶瑞电材介绍,子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了 0.25~0.13μm 的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF高端光刻胶部分品种已量产。


据了解,晶瑞电材是国内最早从事光刻胶生产的企业之一,目前已经取得合肥长鑫、士兰微、扬杰科技、福顺微电子、中芯国际等国内企业的供货订单。


据晶瑞电材介绍,子公司瑞红 ( 苏州 ) 电子化学品股份有限公司凭借强大的研发实力和突出的产品优势,取得了下游客户的认证,开拓并维系了一大批国内外优质客户,构建了优质的业务平台并成功进入优秀客户的供应链。


作为芯片产业链上的重要一环——光刻胶,是由树脂,感光剂,溶剂,光引发剂等组成的混合液态感光材料。原理是利用光化学反应,经光刻工艺将所需要的微细图形转移到加工衬底上,来达到在晶圆上刻蚀出需的图形的目的。如果把光刻机理解为一台胶片相机,它要使用的胶片就是光刻胶。


按照曝光波长不同,光刻胶可以分为g线,i线、KrF、ArF、以及EUV几种,其中KrF、EUV和ArF光刻胶主要被应用于集成电路,属于高端光刻胶。由于在芯片生产中是不可或缺的重要原料,光刻胶也因此被称为“半导体材料皇冠上的明珠”。


有投资者在投资者互动平台提问:请问公司KrF(248nm深紫外)光刻胶产品分辨率是否达到了0.25~0.13μm的技术要求?并且通过部分重要客户测试?


晶瑞电材3月13日在投资者互动平台表示,公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了 0.25~0.13μm 的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF高端光刻胶部分品种已量产。


来源:半导体行业圈

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第五届全球半导体产业(重庆)博览会

时间:2023年5月10-12日

地点:重庆国际博览中心


为进一步推动重庆及中西部地区半导体产业高质量创新发展,发挥成渝双城经济圈产业优势,挖掘西部半导体市场发展机遇,第五届全球半导体产业(重庆)博览会将以“集智创芯、共塑未来”为主题,规划展出面积25000平方米, 预计吸引350家知名企业参与,20000名专业观众到场参观洽谈。


博览会聚焦半导体产业核心技术及发展趋势,拟设“IC设计、集成电路制造、封装测试、半导体材料、设备制造、电子元器件、AI+5G、智慧电源、综合展”等主题专区,专业呈现半导体产业最新技术成果,检索更多智能应用领域创新案例,搭建专业高端的产业生态交流合作平台。