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ENTERPRISE
PROFILE
合肥真萍电子科技有限公司,是安徽旭腾微电子设备有限公司全资子公司,总部 位于合肥经开区天都路4345号真萍科技产业园 ,是一家专注于热(+30-1600 ℃) 、真空(1-1*10-6torr)、高压(10MPa)等设备的半导体装备行业高新技术企业。
技术团队主要由一批多年从事热工、流体、结构、半导体等行业的专业工 程技术人员为核心组成 ,现有研发人员40余人 ,均为本科及以上学历。 目前已取得国家专利39项 ,其中发明型7项 ,软件5项;获得国家高新技术企业认定,通过ISO9001质量体系认证和以及SEMI S2认证。目前 ,自有厂房面积约32000 平米 ,洁净车间约2000平米 ,是具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。
2022年,合肥国有资本方“创新投”及“海恒资本”战略投资真萍科技母 公司安徽旭腾微电子设备有限公司,融资融智,加速推进公司产品技术研发进程, 助力完善半导体装备产业链拼图。
初创期设备从以单机、自动化程度不高的加热/真空高洁净度的半导体设备为 基础,不断向高集成自动化、满足复杂制成工艺的立式炉、真空焊接炉发展,现已成为多家国家级研究中心及集成电路生产首选专业设备供应商。
目前主要服务的客户金瑞泓、中环领先、台积电、立昂微、方正微、中芯、士兰 微、华大基因、深爱半导体、捷捷微、长电先进、华天科技、中电58所、通富 微、集迈科、云天半导体、禾芯半导体、芯德半导体、华进半导体、芯健半导体 、矽迈微电子、沛顿存储、宇芯集成电路、中科智芯、三安光电、聚灿光电、兆 元光电、乾照光电、兆驰光电、华灿光电、康佳研究院、华兴激光、华芯半导体 、武汉光迅、中电化合物、惠科、长飞先进、光智、基本半导体、度亘半导体、 鸿辰光子、武汉高德、维信诺、中科院安徽光学精密机械研究所、中科院上海光 学精密机械研究所、上海应用物理研究所、中国电子集团第十三研究所、中科院 化学所、清华大学、中国科技大学、北京大学、安徽大学、南昌大学、中国电子 科技集团第43研究所、中国电子科技集团第44研究所、宁波华瓷通信、湖南华联特陶、领益制造、深南电路、卓怡恒通等。
PRODUCT
INTRODUCTION
产品用途:
集成电路圆片胶, BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指纹识别;集成电路圆片快速退火。
产品特点:
1.一体式人机操作系统,连续式自动化生产,工作效率高,节约人工成本、电能及工艺时间;
2.FEC加热,升温迅速且均匀度好;
3.优质不锈钢材质,表面经物理及化学抛光处理,确保洁净度;
4.自带自清洁功能——高温清洁。
应用介绍:
广泛应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电子产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
技术指标与基本配置:
使用温度 | RT+30~400℃,最高温度:450℃; |
炉膛腔数 | 1或2个,上下布置; |
炉膛材料 | SUS316镜面不锈钢; |
加热元件 | 不锈钢加热器; |
空炉升温时间 | 1.5h; |
空炉降温时间 | 375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 |
降温模式 | 采用水冷及风冷; |
控温稳定度 | ±1℃; |
温度均匀度 | ±2%℃(400℃平台)。 |
主要特点 | 箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点,独特的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀,吸风口加玻纤过滤器,确保洁净度的要求。 |
氧含量(配氧分析仪) | 高温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量; 低温状态氧含量:≤100ppm +气源氧含量。 |
应用介绍:
广泛应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
主要特点:
节省氮气(30LPM),具有升温快、节能等特点,独特的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀,美国金属过滤器,确保洁净度的要求。
HMDS预处理系统的优点:
预处理性能更好:由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,其次由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,不需要从容器里传出而接触到大气,所以晶片吸收水分子的机会大大降低,有着更好的处理效果等;
处理更加均匀:由于是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性;
效率高:液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达4盒的晶片;
更加节省药液:实践证明,液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多;
更加环保和安全:HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。
用途介绍:
广泛应用于航天、军事、船舶、电子、半导体、液晶显示等科研及生产单位,主要作模压固烤、IC(DB/WB)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料、电工产品、材料、零备件等的精密烘烤、烘干、定型、加工等。
循环系统 | 热风循环系统 | |
性能 参数 | 温度范围 | RT.+25℃-250℃ |
温度波动范围 | ±1%℃(空箱测试) | |
温度均匀性 | ±2%℃(空箱测试) | |
升温时间 | <30Min(175℃)&<40Min(200℃) | |
烘箱 结构 | 烘箱内外腔体 | SUS304镜面不锈钢,烤漆板,树脂类板 |
保温材料 | 高密度陶瓷纤维棉 | |
加热 | 无尘加热丝或不锈钢加热管 |
冷却方式 | 水冷却、风冷却、多段式冷却 | |||
型 号: | MOLJM-512D1 | MOLJM-240D2 | MOLJM-300D4 | |
内腔尺寸W*H*D(mm) | 800*800*800 | 710*610*560双腔 | 750*650*600四腔 |
产品概述:
本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
技术指标与箱体结构(温度250 A 300B) | |
无尘等级 | Class100:(符合FED-STD 209E标准:0.3um≤300个) |
温度范围 | +30℃~ +250℃(极限温度300℃) |
温度均匀性 | ±2%℃(空箱测试) |
温度精确度 | ±1℃(空箱测试) |
箱体结构 | 烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,N2 进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理。 |
风道部分 | 风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A(特殊风道设计),过滤效果可达99.995%,Class100。 |
型号: | MOLWG-91 | MOLWG-120 | MOLWG-288 | MOLWG-490 | MOLWG-640 | MOLWG-1400 |
内尺寸(mm)W*H*D | 450*450*450 | 450*600*450 | 600*800*600 | 700*1000*700 | 800*1000*800 | 1000*1400*1000 |
层板数 | 二层 | 三层 | 五层 |
用途介绍:
广泛应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作模压固烤、IC(晶圆、CMOS、TSV、MEMS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料、电工产品、材料、零备件等的精密烘烤、烘干、定型、加工等。
技术指标与与箱体结构
使用温度 | RT30~200℃,最高温度:250℃; |
炉膛腔数 | 1个或2个(上下布置); |
炉膛材料 | SUS304镜面不锈钢,不锈钢加热器; |
热偶 | K分度; |
控温稳定度 | ±1℃; |
温度均匀度 | ±2%℃(200℃平台); |
箱体材料 | 箱体外壳采用优质冷轧钢板表面静电喷塑处理,内室采用SUS304不锈钢板; |
箱体结构 | 箱体为卧式结构,控制柜及面板在箱体的左侧,工作室位于箱体的右侧。 |
型号 | MOLJM-120 | MOLJM-175 | MOLJM-288 | MOLJM-512 |
内尺寸(mm) | W600*H450*D450 | W700*H500*D500 | W800*H600*D600 | W800*H800*D800 |
层板数 | 二层 | 三层 |
产品介绍:
本产品广泛应用于航空、航天、军事、红外、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电子产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性。
技术参数:
工作室温度范围 | 常温+30~300℃ ,常温+30~500℃ | ||
温度波动度 | ±1.0℃(空载) | 温度均匀度 | ±2% |
升温速率 | 3~8℃ | 降温速率 | 3~5℃(水冷或气冷) |
试验箱承压方式 | 采用内承压方式 | 压力范围 | 常压~1*10-6torr |
型号 | MOLWP-27 | MOLWP-125 | MOLWP-216 |
内尺寸(mm) | 300x300x300 | 500x500x500 | 600x600x600 |
层板 | 二层 | 三层 |
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